集成电路科学与工程学院北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统竞价结果公示

项目信息

项目名称

北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统

申购业务号

202311160018

采购单位名称

集成电路科学与工程学院

成交信息

成 交 价

488995.5元

成交供应商

液化空气上海有限公司

采  购  清  单

序号

名    称

规格型号

数 量

1

LPCVD工艺气体分配和控制系统

/

1台

2

RPS设备工艺气体分配控制系统

/

1台

3

RTP设备工艺气体分配和控制系统

/

1台

4

真空互联设备设备工艺气体分配和控制系统

/

1台

5

SPTS设备工艺气体分配和控制系统

/

1台

公示期从2023年11月16日起至2023年11月19日止。
各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的，可在公示期内以书面形式（包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至北京航空航天大学集成电路科学与工程学院;
监督人：张老师，
联系方式： 010-82313693，
邮箱：gaogj@buaa.edu.cn。