集成电路科学与工程学院8吋化学机械抛光研发耗材竞价结果公示
发布时间：2025-08-10
点击次数：
发布人：集成电路科学与工程学院
| 项目信息 |
项目名称 |
8吋化学机械抛光研发耗材 |
| 追踪号 |
202508070002 |
| 采购单位名称 |
集成电路科学与工程学院 |
| 成交信息 |
成 交 价 |
366369.73元 |
| 成交供应商 |
华海清科股份有限公司 |
| 采 购 清 单 |
| 序号 |
名 称 |
规格型号 |
数 量 |
| 1 |
二相流喷嘴 |
/RN02201-R-PFA |
1件 |
| 2 |
抛光头晶圆保持环 |
/11051-8551A |
20件 |
| 3 |
晶圆刷洗棒从动轮 |
/0000-0524A |
6件 |
| 4 |
晶圆真空吸盘 |
/RC02201-RE-PEEK |
1件 |
| 5 |
抛光头气膜 |
/11051-8110B |
20件 |
| 6 |
聚乙烯醇晶圆刷洗棒 |
/BS401-0 |
48件 |
| 7 |
晶圆刷洗棒驱动轮 |
/0.60000-0420A |
12件 |
| 公示期从2025年08月10日起至2025年08月11日18:00止。
各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的，可在公示期内以书面形式（包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至北京航空航天大学集成电路科学与工程学院;
监督人：张老师，
联系方式： 010-82313693，
邮箱：gaogj@buaa.edu.cn。 |
